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晶片厚度及翹曲度測(cè)量設(shè)備

翹曲度（Warp）彎曲度(Bow)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)定義； 針對(duì)切割片/襯底片快速測(cè)厚分類解決方案； 常用測(cè)距傳感器類型