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應(yīng)用案例
晶片膜厚自動測量及分類機(jī)


  1、兼容多種材料,多層膜厚測量的解決方案

  2、同質(zhì)外延膜厚測量解決方案

  3、微區(qū)膜厚測量解決方案


1-兼容多種材料,多層膜厚測量的解決方案


2-同質(zhì)外延膜厚測量解決方案


3-微區(qū)膜厚測量解決方案


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